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HEIDENHAIN光柵尺383965-03上海庫(kù)存
HEIDENHAIN光柵尺分為封閉式光柵尺和敞開式光柵尺。封閉式光柵尺可以有效防塵防切屑和防飛濺的切削液,是用于機(jī) 床的理想選擇。敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于需要高精度測(cè)量的機(jī)床和系統(tǒng),典型應(yīng)用包括:半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備,PCB電路板組裝機(jī),超精密機(jī)床,高精度機(jī)床,測(cè)量機(jī)和比較儀,測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備,直接驅(qū)動(dòng)。
光柵尺,也稱為光柵尺位移傳感器(光柵尺傳感器),是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,可用作直線位移或者角位移的檢測(cè)。其測(cè)量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖,具有檢測(cè)范圍大,檢測(cè)精度高,響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。例如,在數(shù)控機(jī)床中常用于對(duì)刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測(cè),來(lái)觀察和跟蹤走刀誤差,以起到一個(gè)補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動(dòng)誤差的作用。光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同,分為透射光柵和反射光柵。
海德漢光柵尺以透射光柵為例,當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個(gè)小角度θ,并且兩個(gè)HEIDENHAIN海德漢光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí),在光源的照射下,位于幾乎垂直的柵紋上,形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋" 。嚴(yán)格地說,莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度,以W表示。
W=ω /2* sin(θ /2)=ω /θ 。[1]
莫爾條紋具有以下特征:
(1)莫爾條紋的變化規(guī)律
兩片光柵相對(duì)移過一個(gè)柵距,莫爾條紋移過一個(gè)條紋距離。由于光的衍射與干涉作用,莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù),變化周期數(shù)與光柵相對(duì)位移的柵距數(shù)同步。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下,莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中,θ的單位為rad,W的單位為mm。由于傾角很小,sinθ很小,則
W=ω /θ
若ω =0.01mm,θ=0.01rad,則上式可得W=1,即光柵放大了*倍。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,例如每毫米*線的光柵,10mm寬度的莫爾條紋就有*0條線紋,這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了,消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。
HEIDENHAIN光柵線533631-05
HEIDENHAIN光柵電纜帶接頭533631-01
HEIDENHAIN備件ID 662 636-02
HEIDENHAIN編碼器366864-04
HEIDENHAIN編碼器631703-07 ROQ42451227S17-E0 SN:39154592B
HEIDENHAIN光柵尺LS476 ID-Nr:329988-2Y
HEIDENHAIN編碼器586653-06
HEIDENHAIN光柵尺689680-17
HEIDENHAIN主軸測(cè)量環(huán)ERM 180/280 ID:390925-14
HEIDENHAIN編碼器589 614-5B
HEIDENHAIN編碼器ID 597 331-06 SN:42760112 D
HEIDENHAIN編碼器DSLHEI746721-06
HEIDENHAIN編碼器385502-09
HEIDENHAIN編碼器線533631-01
HEIDENHAIN編碼器521291-04
HEIDENHAIN編碼器ID:533110-01
HEIDENHAIN編碼器DSLHEI746721-01
HEIDENHAIN光柵尺LS186ML1440ID.NR.336960-50
HEIDENHAIN光柵526974-07
HEIDENHAIN編碼器385489-08
光柵尺 LC485 =270 689680-05
光柵尺 LC195F ML=240 760907-02
光柵尺 LC185 ML=1040 689697-10
光柵尺 LC185 ML=840 689697-08
光柵尺 LC185 ML=440 689697-04
光柵尺 LC185 ML=240 689697-02
讀數(shù)頭 AK ERM2280 2800 1144028-03
光柵尺 LC485 ML=170 689680-03
光柵尺 LC485 ML=220 689680-04
光柵尺 LF183C ML1040mm ID 348226-19
光柵尺 LS406.ML320 ID329 982 -21.帶線3米
光柵尺 LC195F ML=240 760907-02
光柵尺 LC195M=840 760920-08
HEIDENHAIN光柵尺LS 187C ML=2040(527392-19)
HEIDENHAIN光柵尺383965-03上海庫(kù)存